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台阶仪ET200
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最大尺寸 |
φ160×厚48mm |
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再现性 |
1σ 1nm以内 |
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測定范围 |
Z：600μm X：100mm |
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分解能 |
Z：0.1nm X：0.1μm |
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测定力 |
10μN～500μN |
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