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测定范围 |
Z：800μm X：120mm |
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取样数/分解能 |
最大32,000点/16bit |
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真直度精度 |
0.2μm/120mm |
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测定倍率 |
纵：50～500,000 横：1～5,000 |
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测量速度 |
0.05～5mm/s |
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上下移动范围 |
320mm |
