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測定范围 |
Z：50mm X：100mm |
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测定精度 |
Z：±0.25%/全量程 |
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测针 |
R25μm 30mN以下 |
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测定角度 |
上升77° 下降87° |
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测定倍率 |
縦横とも1～200倍 |
