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结构・方式 |
多孔质空气轴承・检测器式回转 |
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回转精度 |
0.05μm |
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最大测定径 |
内外径同 φ550mm（※EC5100H） |
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装载重量 |
200kg（※EC5100H） |
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上下移动量 |
1000mm（b测杆使用時）（※EC5100Hの場合） |
